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특허 수퍼옥사이드 디스뮤타제 또는 카탈라아제를 포함하는 M.abscessus 감염 진단용 조성물(Compositions for diagnosis of M. abscessus infection)

본 발명은 비결핵 항산균 중 하나인 M.abscessus감염 진단용 조성물 및 M.abscessus 진단용 키트, M.abscessus진단에 대한 정보를 제공하는 방법에 관한 것이다. 보다 구체적으로 본 발명은 수퍼옥사이드디스뮤타제(superoxide dismutase) 또는 카탈라아제(catalase)를 포함하는 M.abscessus 진단용 조성물, 키트, 진단에 대한 정보를 제공하는 방법에 관한 것이며, 항산균 감염증 중에서 특히 고병원성인 M.abscessus만을 특이적으로 진단할 수 있다.

  • 출원번호 10-2011-0095102
    출원일자 2011.09.21
  • 등록번호 10-1082816
    등록일자 2011.11.07
  • 출원인 충남대학교산학협력단
    발명자 신성재 , 김화중 , 신아름 , 오재희
초록

본 발명은 비결핵 항산균 중 하나인 M.abscessus감염 진단용 조성물 및 M.abscessus 진단용 키트, M.abscessus진단에 대한 정보를 제공하는 방법에 관한 것이다. 보다 구체적으로 본 발명은 수퍼옥사이드디스뮤타제(superoxide dismutase) 또는 카탈라아제(catalase)를 포함하는 M.abscessus 진단용 조성물, 키트, 진단에 대한 정보를 제공하는 방법에 관한 것이며, 항산균 감염증 중에서 특히 고병원성인 M.abscessus만을 특이적으로 진단할 수 있다.

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특허 쑥, 버찌, 비트 또는 이들의 2 이상의 혼합 분말을 이용한 저장성이 향상된 매작과의 제조방법(Process for manufacturing traditional Korean cracker having enhanced preservative capacity using mugwort powder, fruit of Japanese flowering cherry powder, Beta vulgaris L. powder or mixture thereof)

본 발명은 저장성이 향상된 매작과의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 밀가루에 쑥, 버찌, 비트 또는 이들의 2 이상의 혼합 분말을 밀가루 중량 대비 0.5~5.5 중량%로 넣고 혼합하고 체로 친 후 소금을 녹인 물을 첨가하여 반죽하여 밀가루 반죽을 제조하는 단계(단계1); 상기 단계1로부터 얻어진 밀가루 반죽을 얇게 민 후 잘라 길이 방향으로 세 군데에 칼집을 만들고, 가운데 칼집으로 한쪽 귀를 넣어 뒤집는 단계(단계2); 및 상기 단계2로부터 얻어진 밀가루 반죽을 145~155℃ 정도의 기름에 튀겨내고 꿀, 설탕시럽, 조총 또는 올리고당을 묻히는 단계(단계3)를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 저장성이 향상된 매작과의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면 관능적 기호도가 향상될 뿐만 아니라, 쑥, 버찌, 비트 분말의 항산화 기능에 의하여 기름의 산패로 인한 물질의 생성을 감소시킬 수 있어 인체에 유해한 물질의 피해를 예방할 수 있고, 나아가 호기성 세균, 곰팡이, 효모 등의 미생물의 생육 억제를 통하여 저장기간이 향상된 매작과를 제공할 수 있다.

  • 출원번호 10-2008-0130209
    출원일자 2008.12.19
  • 등록번호 10-1085968
    등록일자 2011.11.16
  • 출원인 충남대학교산학협력단
    발명자 육홍선 , 김경희
초록

본 발명은 저장성이 향상된 매작과의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 밀가루에 쑥, 버찌, 비트 또는 이들의 2 이상의 혼합 분말을 밀가루 중량 대비 0.5~5.5 중량%로 넣고 혼합하고 체로 친 후 소금을 녹인 물을 첨가하여 반죽하여 밀가루 반죽을 제조하는 단계(단계1); 상기 단계1로부터 얻어진 밀가루 반죽을 얇게 민 후 잘라 길이 방향으로 세 군데에 칼집을 만들고, 가운데 칼집으로 한쪽 귀를 넣어 뒤집는 단계(단계2); 및 상기 단계2로부터 얻어진 밀가루 반죽을 145~155℃ 정도의 기름에 튀겨내고 꿀, 설탕시럽, 조총 또는 올리고당을 묻히는 단계(단계3)를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 저장성이 향상된 매작과의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면 관능적 기호도가 향상될 뿐만 아니라, 쑥, 버찌, 비트 분말의 항산화 기능에 의하여 기름의 산패로 인한 물질의 생성을 감소시킬 수 있어 인체에 유해한 물질의 피해를 예방할 수 있고, 나아가 호기성 세균, 곰팡이, 효모 등의 미생물의 생육 억제를 통하여 저장기간이 향상된 매작과를 제공할 수 있다.

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특허 결핵균의 RV0652단백질을 이용한 수지상 세포의 성숙방법(Maturation method using M. tuberculosis RV0652 protein for Dendritic cell)

본 발명은 수지상 세포를 성숙시키는 방법에 관한 것이다. 더욱 구체적으로는 결핵균의 Rv0652를 이용하여 미성숙 수지상 세포를 성숙 수지상 세포로 분화시키는 방법에 관한 것이다. 본 발명의 방법에 의해 수지상 세포에 의한 신체의 면역 반응을 효과적으로 증강시킬 수 있다.

  • 출원번호 10-2010-0046354
    출원일자 2010.05.18
  • 등록번호 10-1087033
    등록일자 2011.11.21
  • 출원인 충남대학교산학협력단 , 부산대학교 산학협력단
    발명자 박영민 , 정인덕 , 신성재 , 김화중
초록

본 발명은 수지상 세포를 성숙시키는 방법에 관한 것이다. 더욱 구체적으로는 결핵균의 Rv0652를 이용하여 미성숙 수지상 세포를 성숙 수지상 세포로 분화시키는 방법에 관한 것이다. 본 발명의 방법에 의해 수지상 세포에 의한 신체의 면역 반응을 효과적으로 증강시킬 수 있다.

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특허 평판 디스플레이에 내장된 자기변형 스피커(A Hidden Magnetostrictive Speaker Embedded in Flat Panel Display)

본 발명은 스피커에 관한 것으로 보다 상세하게는 자성체의 자기변형 성질을 이용한 자기변형 스피커에 관한 것이다.본 발명에 의한 평판 디스플레이에 내장된 자기변형 스피커는 FPD 판넬에 부착되는 다수 개의 자기변형 구동기와; 상기 자기변형 구동기에 결합되어 상기 자기변형 구동기의 진동에 의해 소리를 발생시키는 뒷면케이싱과; 상기 FPD 판넬 및 뒷면케이싱에 자기변형 구동기를 고정하기 위한 자기변형 구동기 체결수단과; 상기 자기변형 구동기 체결수단에서 발생하는 잡음을 흡수할 수 있도록 연질 재질로 이루어지고, 중앙부가 통공된 부싱과; 상기 FPD 판넬을 전면에서 고정하는 앞면케이싱으로 이루어지며, 본 발명에 의한 자기변형 구동기는 음성 신호를 증폭한 전류에 의해 자속을 발생시키는 코일과; 상기 코일이 일정한 형태를 유지하도록 하고 중앙에 상하로 통공된 부도체의 보빈과; 상기 보빈의 중앙 통공부에 삽입되고, 상기 코일에 의해 발생하는 자속에 따라 자기변형을 일으키는 자기변형체와; 상기 자기변형체의 상하에 각각 삽입되어 바이어스 자속을 생성하는 영구 자석과; 상기 코일을 외측에서 둘러싸서 상기 코일에 의해 발생한 자속이 원활하게 지나갈 수 있도록 자기경로를 형성하는 자성체와; 상기 자기변형체에 의해 발생한 진동이 외부의 진동판에 원활하게 전달될 수 있도록 상기 영구 자성의 외측에서 상기 보빈의 상하에 삽입되는 진동자;를 포함하여 이루어진다.본 발명에 의한 평판 디스플레이에 내장된 자기변형 스피커는 기존의 스피커의 기계적 관성에 의한 주파수 특성에 한계를 개선하고, 부피를 얇게 할 수 있으며, 기계적인 구동기가 없어 수명이 반영구적이다.

  • 출원번호 10-2010-0018608
    출원일자 2010.03.02
  • 등록번호 10-1087493
    등록일자 2011.11.22
  • 출원인 충남대학교산학협력단
    발명자 박영우 , 최동주
초록

본 발명은 스피커에 관한 것으로 보다 상세하게는 자성체의 자기변형 성질을 이용한 자기변형 스피커에 관한 것이다.본 발명에 의한 평판 디스플레이에 내장된 자기변형 스피커는 FPD 판넬에 부착되는 다수 개의 자기변형 구동기와; 상기 자기변형 구동기에 결합되어 상기 자기변형 구동기의 진동에 의해 소리를 발생시키는 뒷면케이싱과; 상기 FPD 판넬 및 뒷면케이싱에 자기변형 구동기를 고정하기 위한 자기변형 구동기 체결수단과; 상기 자기변형 구동기 체결수단에서 발생하는 잡음을 흡수할 수 있도록 연질 재질로 이루어지고, 중앙부가 통공된 부싱과; 상기 FPD 판넬을 전면에서 고정하는 앞면케이싱으로 이루어지며, 본 발명에 의한 자기변형 구동기는 음성 신호를 증폭한 전류에 의해 자속을 발생시키는 코일과; 상기 코일이 일정한 형태를 유지하도록 하고 중앙에 상하로 통공된 부도체의 보빈과; 상기 보빈의 중앙 통공부에 삽입되고, 상기 코일에 의해 발생하는 자속에 따라 자기변형을 일으키는 자기변형체와; 상기 자기변형체의 상하에 각각 삽입되어 바이어스 자속을 생성하는 영구 자석과; 상기 코일을 외측에서 둘러싸서 상기 코일에 의해 발생한 자속이 원활하게 지나갈 수 있도록 자기경로를 형성하는 자성체와; 상기 자기변형체에 의해 발생한 진동이 외부의 진동판에 원활하게 전달될 수 있도록 상기 영구 자성의 외측에서 상기 보빈의 상하에 삽입되는 진동자;를 포함하여 이루어진다.본 발명에 의한 평판 디스플레이에 내장된 자기변형 스피커는 기존의 스피커의 기계적 관성에 의한 주파수 특성에 한계를 개선하고, 부피를 얇게 할 수 있으며, 기계적인 구동기가 없어 수명이 반영구적이다.

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특허 홍조류를 이용한 불투명한 식품포장지 및 이의 제조방법(The uncertain packing paper of food using the rhodophyta and a method of manufacture thereof)

본 발명은 불투명한 홍조류를 이용한 식품포장지 및 이의 제조방법으로, 보다 상세하게는 홍조류를 이용하여 생산공정에 약품의 사용이 없어서 식품에 접촉하여도 인체에 무해하고, 냄새가 없으며, 생산 수율이 높고, 생분해성이 우수한 가식성의 불투명한 홍조류 펄프 및 이를 이용한 식품포장지의 제조방법에 관한 것이다. 상기 불투명한 펄프를 이용한 식품포장지는 강도가 우수하고, 저평량에도 빛 투과성이 적고, 냄새가 없으며, 투기도가 매우 낮아 식품과 포장용기 간의 물질이동을 철저히 차단하여 식품의 신선도를 유지하는 불투명한 식품 포장지로 유용하게 활용될 수 있으며, 가식성인 홍조류를 원료로 이용함으로써 생분해성 우수하여 환경오염을 유발하지 않는 안전한 친환경 종이 포장재의 제공에 크게 기여할 것이다.

  • 출원번호 10-2009-0100108
    출원일자 2009.10.21
  • 등록번호 10-1088455
    등록일자 2011.11.24
  • 출원인 충남대학교산학협력단
    발명자 서영범 , 이윤우 , 이춘한 , 박영규 , 이민우
초록

본 발명은 불투명한 홍조류를 이용한 식품포장지 및 이의 제조방법으로, 보다 상세하게는 홍조류를 이용하여 생산공정에 약품의 사용이 없어서 식품에 접촉하여도 인체에 무해하고, 냄새가 없으며, 생산 수율이 높고, 생분해성이 우수한 가식성의 불투명한 홍조류 펄프 및 이를 이용한 식품포장지의 제조방법에 관한 것이다. 상기 불투명한 펄프를 이용한 식품포장지는 강도가 우수하고, 저평량에도 빛 투과성이 적고, 냄새가 없으며, 투기도가 매우 낮아 식품과 포장용기 간의 물질이동을 철저히 차단하여 식품의 신선도를 유지하는 불투명한 식품 포장지로 유용하게 활용될 수 있으며, 가식성인 홍조류를 원료로 이용함으로써 생분해성 우수하여 환경오염을 유발하지 않는 안전한 친환경 종이 포장재의 제공에 크게 기여할 것이다.

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특허 보안 기능을 제공하는 안전한 에스아이피 프로토콜을 이용한 공격 탐지 방법 및 시스템(Attack Detection Method And System with Secure SIP Protocol)

본 발명은 보안 기능을 제공하는 안전한 에스아이피 프로토콜을 이용한 공격탐지방법 및 시스템에 관한 것으로, 복수의 클라이언트가 유무선통신망을 통해 에스아이피(SIP:Session Initiation Protocol) 프로토콜 파이어월(Firewall)을 구비한 프락시(Proxy)서버와 연결된 상태에서 보안 기능을 제공하는 에스아이피 프로토콜 기반 공격탐지시스템에 있어서, SIP 파이어월(24)은 입력되는 통신패킷을 필터링하는 SIP 패킷필터링모듈(242), 필터링된 통신패킷의 IP 혹은 MAC을 인증하기 위한 IP/MAC 인증모듈(244), 상기 IP/MAC 인증모듈(244)에 의해 인증된 통신패킷의 세션을 분류하기 위한 세션분류모듈(246), 상기 세션분류모듈(246)을 통과한 통신패킷을 추출하여 SIP 키를 확인하고 세션키를 생성하는 SIP 키 확인 및 생성모듈(254), 장치 전반을 제어하는 중앙제어부(240), 상기 세션분류모듈(246)을 통과한 통신패킷을 분류하여 분석하여 SIP 상태 테이블(264)에 저장하고 SIP 세션을 생성하고 SIP 포멀모델부(256)를 통해 세션상태를 체크하여 협상상태인 경우 암호화/복호화 알고리듬(258)을 통해 상태를 체크하며 블랙리스트 저장부(266)에 블랙리스트로 갱신시키거나 혹은 패킷을 출력하는 SIP 분석모듈(252), 다양한 포멀(formal)모델을 구비하여 상기 SIP 분석모듈(252)과 연동하여 동작하는 SIP 포멀모델부(256), 상기 SIP 분석모듈(252)과 함께 동작하며 다양한 형태의 공격에 대응하여 통신패킷을 암호화하거나 복호화하는 암호화/복호화 알고리듬(258)을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.

  • 출원번호 10-2009-0100461
    출원일자 2009.10.21
  • 등록번호 10-1089269
    등록일자 2011.11.28
  • 출원인 충남대학교산학협력단 , 한신대학교 산학협력단
    발명자 이형우 , 김태수 , 김득용 , 윤하나
초록

본 발명은 보안 기능을 제공하는 안전한 에스아이피 프로토콜을 이용한 공격탐지방법 및 시스템에 관한 것으로, 복수의 클라이언트가 유무선통신망을 통해 에스아이피(SIP:Session Initiation Protocol) 프로토콜 파이어월(Firewall)을 구비한 프락시(Proxy)서버와 연결된 상태에서 보안 기능을 제공하는 에스아이피 프로토콜 기반 공격탐지시스템에 있어서, SIP 파이어월(24)은 입력되는 통신패킷을 필터링하는 SIP 패킷필터링모듈(242), 필터링된 통신패킷의 IP 혹은 MAC을 인증하기 위한 IP/MAC 인증모듈(244), 상기 IP/MAC 인증모듈(244)에 의해 인증된 통신패킷의 세션을 분류하기 위한 세션분류모듈(246), 상기 세션분류모듈(246)을 통과한 통신패킷을 추출하여 SIP 키를 확인하고 세션키를 생성하는 SIP 키 확인 및 생성모듈(254), 장치 전반을 제어하는 중앙제어부(240), 상기 세션분류모듈(246)을 통과한 통신패킷을 분류하여 분석하여 SIP 상태 테이블(264)에 저장하고 SIP 세션을 생성하고 SIP 포멀모델부(256)를 통해 세션상태를 체크하여 협상상태인 경우 암호화/복호화 알고리듬(258)을 통해 상태를 체크하며 블랙리스트 저장부(266)에 블랙리스트로 갱신시키거나 혹은 패킷을 출력하는 SIP 분석모듈(252), 다양한 포멀(formal)모델을 구비하여 상기 SIP 분석모듈(252)과 연동하여 동작하는 SIP 포멀모델부(256), 상기 SIP 분석모듈(252)과 함께 동작하며 다양한 형태의 공격에 대응하여 통신패킷을 암호화하거나 복호화하는 암호화/복호화 알고리듬(258)을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.

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특허 기술이전 온 칩 펄스 제너레이터를 이용한 커패시턴스 측정 장치(apparatus for measuring capacitance using on chip pulse generator)

커패시턴스 측정 장치는 내부에 온칩 형태로 구현된 내부 펄스 발생부를 포함하며, 내부 펄스 발생부는 제1 제어 신호 및 제2 제어 신호를 각각 생성하여 출출력한다. 제1 제어 신호에 따라 제1 및 제3 트랜지스터가 동작하고, 제2 제어 신호에 따라 제1 트랜지스터와 직렬로 연결된 제2 트랜지스터가 동작하고, 제2 제어 신호에 따라 제3 트랜지스터와 직렬로 연결된 제3 트랜지스터가 동작하면서, 제3 트랜지스터와 제4 트랜지스터 사이의 노드에 연결된 측정 커패시터의 충전 상태가 가변되며, 측정 커패시터의 커패시턴스가 측정된다.

  • 출원번호 10-2010-0017207
    출원일자 2010.02.25
  • 등록번호 10-1090448
    등록일자 2011.11.30
  • 출원인 충남대학교산학협력단
    발명자 이희덕 , 박상욱
초록

커패시턴스 측정 장치는 내부에 온칩 형태로 구현된 내부 펄스 발생부를 포함하며, 내부 펄스 발생부는 제1 제어 신호 및 제2 제어 신호를 각각 생성하여 출출력한다. 제1 제어 신호에 따라 제1 및 제3 트랜지스터가 동작하고, 제2 제어 신호에 따라 제1 트랜지스터와 직렬로 연결된 제2 트랜지스터가 동작하고, 제2 제어 신호에 따라 제3 트랜지스터와 직렬로 연결된 제3 트랜지스터가 동작하면서, 제3 트랜지스터와 제4 트랜지스터 사이의 노드에 연결된 측정 커패시터의 충전 상태가 가변되며, 측정 커패시터의 커패시턴스가 측정된다.

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특허 40㎒ 대역 소형 마이크로스트립 안테나(40MHz band microstrip antenna)

본 발명은 40MHz 대역 소형 마이크로스트립 안테나에 관한 것으로서, 공기 또는 소정의 유전율을 가지며, 접지면과 방사소자 사이에 형성되는 유전체; 접지기능을 수행하는 접지면; 및 상기 접지면의 양단에서 소정방향으로 수직하게 각각 소정길이 연장되는 제 1 외측 플레이트 및 제 2 외측 플레이트와, 상기 제 1 외측 플레이트 및 제 2 외측 플레이트의 각각의 단부에서 안테나 중심방향으로 상기 접지면과 평행하게 각각 소정길이 연장되는 제 1 접이부 및 제 2 접이부와, 상기 제 1 접이부 및 제 2 접이부의 각각의 단부에서 안테나 바깥방향으로 상기 제 1 외측 플레이트 및 제 2 외측 플레이트와 평행하도록 수직하게 각각 소정길이 연장되는 제 1 내측 플레이트 및 제 2 내측 플레이트로 구성되는 방사소자; 를 포함하되, 상기 제 1 외측 플레이트와 제 2 외측 플레이트 중, 어느 하나에 급전점이 위치하는 것을 특징으로 하며, 상기 방사소자는, 상기 제 1 내측 플레이트와 제 2 내측 플레이트에서 각각 서로 마주보는 방향으로 엇갈려서 부착되는 다수의 수직 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 한다.

  • 출원번호 10-2009-0061417
    출원일자 2009.07.07
  • 등록번호 10-1091929
    등록일자 2011.12.02
  • 출원인 충남대학교산학협력단
    발명자 우종명 , 정지철 , 서근석
초록

본 발명은 40MHz 대역 소형 마이크로스트립 안테나에 관한 것으로서, 공기 또는 소정의 유전율을 가지며, 접지면과 방사소자 사이에 형성되는 유전체; 접지기능을 수행하는 접지면; 및 상기 접지면의 양단에서 소정방향으로 수직하게 각각 소정길이 연장되는 제 1 외측 플레이트 및 제 2 외측 플레이트와, 상기 제 1 외측 플레이트 및 제 2 외측 플레이트의 각각의 단부에서 안테나 중심방향으로 상기 접지면과 평행하게 각각 소정길이 연장되는 제 1 접이부 및 제 2 접이부와, 상기 제 1 접이부 및 제 2 접이부의 각각의 단부에서 안테나 바깥방향으로 상기 제 1 외측 플레이트 및 제 2 외측 플레이트와 평행하도록 수직하게 각각 소정길이 연장되는 제 1 내측 플레이트 및 제 2 내측 플레이트로 구성되는 방사소자; 를 포함하되, 상기 제 1 외측 플레이트와 제 2 외측 플레이트 중, 어느 하나에 급전점이 위치하는 것을 특징으로 하며, 상기 방사소자는, 상기 제 1 내측 플레이트와 제 2 내측 플레이트에서 각각 서로 마주보는 방향으로 엇갈려서 부착되는 다수의 수직 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 한다.

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특허 양이온성 고분자를 포함한 pH 민감성 고분자의 생체재료용 고분자 다층막 및 이의 제조방법(Polymer Mutlilayer Coatings including Cationic pH-Sensitive Polymer as Biomaterial and their synthesis)

본 발명은 하기 화학식 1의 pH 민감성 고분자를 사용한 양이온성 고분자층과 음이온성 고분자층이 교대로 적층되어 세포독성을 감소시킨 생체재료용 고분자 다층막에 관한 것이다.[화학식 1](상기 식에서 R은 이미다졸, (C1~C20)알킬아민, (C2~C20)아릴아민, 피리딘, (C2~C20)방향족아민에서 선택되는 어느 하나이다.)

  • 출원번호 10-2009-0058143
    출원일자 2009.06.29
  • 등록번호 10-1091872
    등록일자 2011.12.02
  • 출원인 충남대학교산학협력단
    발명자 양성윤 , 진혜승
초록

본 발명은 하기 화학식 1의 pH 민감성 고분자를 사용한 양이온성 고분자층과 음이온성 고분자층이 교대로 적층되어 세포독성을 감소시킨 생체재료용 고분자 다층막에 관한 것이다.[화학식 1](상기 식에서 R은 이미다졸, (C1~C20)알킬아민, (C2~C20)아릴아민, 피리딘, (C2~C20)방향족아민에서 선택되는 어느 하나이다.)

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특허 화학증착법에 의한 In­Sb­Te 박막의 형성방법 및 이를 이용한 상변화 메모리 소자의 제조방법(The manufacturing method of the formation method of I n ­S b ­Te thin film by the chemical vapor deposition technique and phase change memory device using the same)

본 발명은 300℃ 이하의 저온에서 상변화 메모리 재료인 In-Sb-Te의 박막을 제조할 수 있는 방법 및 이를 이용한 상변화 메모리 소자의 제조방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로 In, Sb 및 Te의 소스 증기를 진공 챔버 내의 기판 상에서 반응시키는 유기금속 화학증착법에 의하며, 상기 반응 시의 챔버 내의 압력이 상기 반응 시 기판의 온도가 150~230℃이고 챔버 내의 압력이 1~15 Torr이거나, 기판의 온도가 230~300℃이고 챔버 내의 압력이 1~7 Torr인 것을 특징으로 하는 유기금속 화학증착법에 의한 상변화 메모리 소자용 In-Sb-Te 박막의 형성방법 및 이를 이용한 상변화 메모리 소자의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면 종래 기술에 의한 상변화 소재인 GST의 대체물질인 IST 박막을 300℃ 이하의 저온에서 용이하게 형성할 수 있으며, 트렌치 구조를 높은 step-coverage로 채울 수 있어 상변화 메모리 소자의 제조에 효율적으로 활용할 수 있다.

  • 출원번호 10-2010-0008175
    출원일자 2010.01.29
  • 등록번호 10-1092424
    등록일자 2011.12.05
  • 출원인 충남대학교산학협력단
    발명자 윤순길 , 안준구
초록

본 발명은 300℃ 이하의 저온에서 상변화 메모리 재료인 In-Sb-Te의 박막을 제조할 수 있는 방법 및 이를 이용한 상변화 메모리 소자의 제조방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로 In, Sb 및 Te의 소스 증기를 진공 챔버 내의 기판 상에서 반응시키는 유기금속 화학증착법에 의하며, 상기 반응 시의 챔버 내의 압력이 상기 반응 시 기판의 온도가 150~230℃이고 챔버 내의 압력이 1~15 Torr이거나, 기판의 온도가 230~300℃이고 챔버 내의 압력이 1~7 Torr인 것을 특징으로 하는 유기금속 화학증착법에 의한 상변화 메모리 소자용 In-Sb-Te 박막의 형성방법 및 이를 이용한 상변화 메모리 소자의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면 종래 기술에 의한 상변화 소재인 GST의 대체물질인 IST 박막을 300℃ 이하의 저온에서 용이하게 형성할 수 있으며, 트렌치 구조를 높은 step-coverage로 채울 수 있어 상변화 메모리 소자의 제조에 효율적으로 활용할 수 있다.

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