[KR] 불소 처리된 탄소재료를 이용한 고감도 가스센스 및 이의 제조방법(High sensitivity gas sensor using fluorinated carbon materials and manufacturing method thereof)
- 국가/구분 KR/특허
- 해외특허
- 출원번호/일자 10-2010-0047322 / 2010-05-20
- 등록번호/일자 10-1260457 / 2013-04-26
발명자
이영석 , 강석창 , 임지선
출원인
충남대학교산학협력단
초록
불소 처리된 탄소재료를 이용한 고감도 가스센스 및 이의 제조방법이 개시된다. 본 발명에 의한 불소 처리된 탄소재료를 이용한 고감도 가스센서의 제조방법은, (1) 탄소재료를 반응기 내에 안착시키고, 열처리하는 제1단계; (2) 반응기 내에 불소 가스를 주입하여, 제1단계를 통하여 열처리된 탄소재료를 불소 처리하는 제2단계; 및 (3) 상기 제2단계를 통하여 불소 처리된 탄소재료를 실리콘 웨이퍼 전극 사이에 증착시켜 가스센서를 제조하는 제3단계;를 포함하여 이루어진다. 본 발명에 의할 경우, 상온에서도 타깃 가스에 대한 민감도와 응답성이 우수한 가스센서를 제조할 수 있게 된다.