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특허 29

특허 패밀리 기술이전 고저항 세라믹 열용사 코팅 소재 및 이를 포함하는정전척의 제조방법(Electrostatic Chuck with High-Resistivity Ceramic Coating Materials)

본 발명은 반도체/디스플레이패널 제조장비에서의 웨이퍼 또는 유리기판을 안정적으로 고정시킬 때 사용되는 정전척의 제조방법에 관한 것으로, 정전척의 핵심 부분을 열용사 코팅에 의하여 형성하되 흡착강도의 증대, 균일한 흡착력, 탈착시간의 단축 그리고 수명의 연장을 이루기 위하여 전기적 절연특성과 유전특성이 요구되는 부분을 내구성이 우수한 Al2O3-YAG계 코팅 소재를 적용하는 것을 특징으로 한다.

  • 출원번호 10-2007-0015622
    출원일자 2007-02-14
  • 등록번호 10-0877381
    등록일자 2008-12-29
  • 출원인 충남대학교산학협력단
    발명자 백경호
초록

본 발명은 반도체/디스플레이패널 제조장비에서의 웨이퍼 또는 유리기판을 안정적으로 고정시킬 때 사용되는 정전척의 제조방법에 관한 것으로, 정전척의 핵심 부분을 열용사 코팅에 의하여 형성하되 흡착강도의 증대, 균일한 흡착력, 탈착시간의 단축 그리고 수명의 연장을 이루기 위하여 전기적 절연특성과 유전특성이 요구되는 부분을 내구성이 우수한 Al2O3-YAG계 코팅 소재를 적용하는 것을 특징으로 한다.

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특허 탄소나노튜브 전계 방출 소자의 제조방법 및 이로부터 제조된 탄소나노튜브 전계 방출 소자(A method for manufacturing carbon nanotubes for field emission devices and carbon nanotubes for field emission device obtained from this method)

본 발명은 탄소나노튜브 전계 방출 소자의 제조방법 및 이로부터 제조된 탄소나노튜브 전계 방출 소자에 관한 것으로, 아크 방전을 이용하여 탄소나노튜브가 흡착된 기판을 제조한 다음 상기 기판을 유기 용매로 표면 처리하여 얻어진, 탄소나노튜브가 기판상에 수평 정렬된 탄소나노튜브 필름을 갖는 기판을 탄소나노튜브 전계 방출 소자로 이용하여 탄소나노튜브와 전극간 전기 접합 및 기계적 접합력을 증대시키도록 구성되어 있다. 본 발명의 방법에 따르면, 탄소나노튜브를 아크 방전법 도중 직접 기판상에 배치시켜, 별도의 분말 공정없이 직접 전계 방출 소자를 제작할 수 있으므로 기존의 여러 공정 단계를 생략할 수 있어 공정 비용을 절감할 수 있을 뿐 아니라 대면적에서 균일한 탄소나노튜브를 흡착시킬 수 있다. 또한, 얻어진 우수한 전계 방출 안정성 및 광투과성을 갖는 탄소나노튜브 전계 방출 소자는 양면 발광형 전계 방출 램프 및 양면 발광형 탄소나노튜브 전계 방출 디스플레이를 제작가능케 하는 잇점이 있다.

  • 출원번호 10-2007-0122007
    출원일자 2007-11-28
  • 등록번호 10-0903857
    등록일자 2009-06-12
  • 출원인 충남대학교산학협력단
    발명자 김도진 , 조유석
초록

본 발명은 탄소나노튜브 전계 방출 소자의 제조방법 및 이로부터 제조된 탄소나노튜브 전계 방출 소자에 관한 것으로, 아크 방전을 이용하여 탄소나노튜브가 흡착된 기판을 제조한 다음 상기 기판을 유기 용매로 표면 처리하여 얻어진, 탄소나노튜브가 기판상에 수평 정렬된 탄소나노튜브 필름을 갖는 기판을 탄소나노튜브 전계 방출 소자로 이용하여 탄소나노튜브와 전극간 전기 접합 및 기계적 접합력을 증대시키도록 구성되어 있다. 본 발명의 방법에 따르면, 탄소나노튜브를 아크 방전법 도중 직접 기판상에 배치시켜, 별도의 분말 공정없이 직접 전계 방출 소자를 제작할 수 있으므로 기존의 여러 공정 단계를 생략할 수 있어 공정 비용을 절감할 수 있을 뿐 아니라 대면적에서 균일한 탄소나노튜브를 흡착시킬 수 있다. 또한, 얻어진 우수한 전계 방출 안정성 및 광투과성을 갖는 탄소나노튜브 전계 방출 소자는 양면 발광형 전계 방출 램프 및 양면 발광형 탄소나노튜브 전계 방출 디스플레이를 제작가능케 하는 잇점이 있다.

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특허 방향 센서와 GPS를 이용한 천문정보 획득 시스템(An astronomical information acquisition system using direction sensor and GPS)

본 발명은 방향 센서와 GPS를 이용한 천문정보 획득 시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 방향 센서와 GPS를 이용하여 사용자가 단순히 천체를 지향함으로써 해당 천체에 대한 천문정보를 획득할 수 있도록 하는 시스템에 관한 것이다. 이를 위하여 본 발명은 천체에 대한 천문정보가 적경 및 적위에 대응하여 저장된 메모리수단, 지자기의 방향을 검출하고 지향방향의 방위각을 측정하는 지자기 센서와 중력의 방향을 검출하고 지향방향의 고도각을 측정하는 기울기 센서를 포함하는 방향 센서 모듈, GPS위성으로부터 신호를 수신하여 상기 방향센서 모듈의 위치 및 현재 시간을 추출하는 GPS 모듈, 및 상기 지자기 센서 및 상기 기울기 센서로부터 방위각 및 고도각에 대한 정보를 수신하고 상기 GPS 모듈로부터 위치 및 시간에 대한 정보를 수신하여 상기 방향 센서 모듈이 지향하는 천구상 지점의 적경 및 적위를 연산하고 상기 연산된 적경 및 적위을 키로 사용하여 상기 메모리수단에서 천문정보를 검색하여 디스플레이하는 마이크로 컨트롤러를 포함하는 것을 특징으로 한다.

  • 출원번호 10-2006-0125781
    출원일자 2006-12-11
  • 등록번호 10-0944417
    등록일자 2010-02-19
  • 출원인 충남대학교산학협력단 , 박정신 , 나자경
    발명자 이유 , 박정신 , 나자경
초록

본 발명은 방향 센서와 GPS를 이용한 천문정보 획득 시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 방향 센서와 GPS를 이용하여 사용자가 단순히 천체를 지향함으로써 해당 천체에 대한 천문정보를 획득할 수 있도록 하는 시스템에 관한 것이다. 이를 위하여 본 발명은 천체에 대한 천문정보가 적경 및 적위에 대응하여 저장된 메모리수단, 지자기의 방향을 검출하고 지향방향의 방위각을 측정하는 지자기 센서와 중력의 방향을 검출하고 지향방향의 고도각을 측정하는 기울기 센서를 포함하는 방향 센서 모듈, GPS위성으로부터 신호를 수신하여 상기 방향센서 모듈의 위치 및 현재 시간을 추출하는 GPS 모듈, 및 상기 지자기 센서 및 상기 기울기 센서로부터 방위각 및 고도각에 대한 정보를 수신하고 상기 GPS 모듈로부터 위치 및 시간에 대한 정보를 수신하여 상기 방향 센서 모듈이 지향하는 천구상 지점의 적경 및 적위를 연산하고 상기 연산된 적경 및 적위을 키로 사용하여 상기 메모리수단에서 천문정보를 검색하여 디스플레이하는 마이크로 컨트롤러를 포함하는 것을 특징으로 한다.

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