[KR] 나노 구조물의 제조방법, 나노 구조물 및 이를 이용하는 소자(Method for manufecturing nano-structure, nano-structure and device using the same)
- 국가/구분 KR/특허
- 해외특허
- 출원번호/일자 10-2012-0006859 / 2012-01-20
- 등록번호/일자 10-1363683 / 2014-02-10
발명자
김도진 , 정혁
출원인
충남대학교산학협력단
초록
본 발명은 나노 구조물의 제조방법 및 상기 제조방법으로 제조된 나노 구조물을 포함하는 소자에 관한 것으로, 본 발명의 나노 구조물의 제조방법은 a) 기판에 구형 입자를 배열하는 단계; b) 상기 구형 입자 상에 금속 시드층을 형성하는 단계; c) 상기 금속 시드층이 형성된 기판을 열처리하여 금속 산화물층을 형성하는 단계; 및 d) 상기 금속 산화물층이 형성된 기판을 성장 수용액에 담궈 복수개의 나노 로드를 성장시키는 단계를 포함한다.