[KR] 태양전지 제조 방법(Manufacturing Method of Solar Cell)
- 국가/구분 KR/특허
- 해외특허
- 출원번호/일자 10-2013-0064163 / 2013-06-04
- 등록번호/일자 10-1361476 / 2014-02-05
발명자
장효식
출원인
충남대학교산학협력단
초록
본 발명은 태양전지 제조방법에 관한 것으로써, 제1 도전성 타입의 기판을 준비하는 기판 준비 단계와, 상기 기판의 전면(front surface)에 위치하는 제2 도전성 타입의 에미터층을 형성하는 에미터층 형성 단계와, 상기 기판의 후면에 패시베이션막을 형성하는 패시베이션막 형성 단계와, 상기 패시베이션막의 후면에 ICP방식의 PECVD법에 의하여 실리콘계 배리어막을 형성하는 배리어막 형성 단계와, 상기 패시베이션막과 상기 배리어막을 제거하여 상기 기판의 후면을 노출하는 컨택 영역을 형성하는 컨택 영역 형성 단계 및 상기 배리어막의 후면에 형성되며 상기 기판의 후면과 전기적으로 연결되는 후면 전극을 형성하는 후면 전극 형성 단계를 포함하는 태양전지 제조 방법에 관한 것이다.