[KR] 전자빔 조사를 이용한 기체상 나노입자의 제조장치 및 제조방법(The manufacturing device of the gas phase nano particle using the electronic beam irradiation and a method of manufacture thereof)
- 국가/구분 KR/특허
- 해외특허
- 출원번호/일자 10-2011-0134671 / 2011-12-14
- 등록번호/일자 10-1358799 / 2014-01-28
발명자
신원규
출원인
충남대학교산학협력단
초록
전구체 발생장치와 전자빔 반응장치를 구비하여 상온 상압에서 전자빔 조사를 이용한 기체상 나노입자의 제조장치 및 제조방법에 관한 것으로, 작동 유체에 의해 전구체를 발생시키는 전구체 발생부 및 상기 전구체 발생부에 결합되고, 상기 전구체 발생부로부터 유입된 전구체 증기를 분해하여 나노입자를 형성하는 전자빔 처리부를 포함하는 구성을 마련한다. 상기와 같은 전자빔 조사를 이용한 기체상 나노입자의 제조장치 및 제조방법을 이용하는 것에 의해, 모든 장치가 상온 상압에서 운용하면서 작동 유체에 의해 전구체 발생기에서 전구체 증기를 발생시키며 전구체 발생기로부터 유입되는 전구체 증기가 전자빔 반응기에서 나노입자를 형성할 수 있다.