[KR] 이종접합 태양전지 및 그의 제조 방법(Heterojunction solar cell and manufacturing method thereof)
- 국가/구분 KR/특허
- 해외특허
- 출원번호/일자 10-2013-0044458 / 2013-04-22
- 등록번호/일자 10-1344230 / 2013-12-17
발명자
이가원 , 이상율 , 윤호진 , 양승동 , 이희덕
출원인
충남대학교산학협력단
초록
본 발명은 태양전지 제조 방법에 있어서, N형 실리콘 기판을 제공하는 단계 및 상기 N형 실리콘 기판의 상부에 산화아연층을 증착하고 이 후 열공정을 진행하는 진행하면서 상기 N형 실리콘 기판에 존재하는 5족 도펀트가 상기 산화아연층에 주입되는 원위치(in-situ) P형 도핑 방법에 의해 P형 산화아연층을 제조하는 단계를 포함하고, 상기 N형 실리콘 기판과 상기 P형 산화아연층 사이에 PN 접합이 형성되는 것을 특징으로 하는 이종접합 태양전지 제조 방법에 관한 것이다.