[KR] 코어-쉘 와이어에 의한 나노입자의 발생 및 그를 이용한 나노입자의 처리 장치 및 방법(Nanoparticle generator and processing apparatus by core-shell hot-wire and method thereof)
- 국가/구분 KR/특허
- 해외특허
- 출원번호/일자 10-2011-0104714 / 2011-10-13
- 등록번호/일자 10-1331137 / 2013-11-13
발명자
신원규
출원인
충남대학교산학협력단
초록
나노입자발생부와 나노입자 증착 및 코팅 막 형성 부를 마련하여 상온·상압에서의 코어-쉘 와이어에 의한 나노입자의 발생 및 그를 이용한 나노입자의 증착·코팅 막 형성 장치 및 방법에 관한 것으로, 발생된 나노입자를 처리하는 장치는 상기 반응 챔버 내에 장착되고 상기 나노입자를 발생하는 나노입자 발생부, 상기 반응 챔버 내에 장착되고, 상기 나노입자 발생부로부터 유입된 나노입자를 기판상에 증착 또는 코팅하는 나노입자 처리부를 포함하는 구성을 마련한다. 상기와 같은 코어-쉘 와이어에 의한 나노입자의 발생 및 그를 이용한 나노입자의 처리 장치 및 방법을 이용하는 것에 의해, 상온·상압에서 운용하면서 나노입자의 발생·증착·코팅 막 형성을 할 수 있다.