[KR] 열용사 코팅재 및 그 제조방법과 코팅방법(COATING MATERIAL FOR THERMAL SPRAY AND FABRICATION METHOD AND COATING METHOD THEREOF)
- 국가/구분 KR/특허
- 해외특허
- 출원번호/일자 10-2011-0012126 / 2011-02-11
- 등록번호/일자 10-1293766 / 2013-07-30
발명자
백경호
출원인
충남대학교산학협력단
초록
반도체/디스플레이패널 제조장비에서 금속 또는 세라믹 부품의 표면에 할로겐 플라스마에 대한 화학적 안정성 및 에칭 저항성이 우수한 Zr이 도핑된 Y2O3(이하, 'Zr-doped Y2O3'로 표기한다) 코팅소재를 열용사 방법으로 적용하는 열용사 코팅재 및 그 제조방법과 코팅방법에 관한 것으로, 80 내지 95wt%의 Y2O3와 20 내지 5wt%의 ZrO2로 이루어진 분말을 마련한다. 상기와 같은 열용사 코팅재 및 그 제조방법과 코팅방법을 이용하는 것에 의해, 열용사법을 이용한 반도체/디스플레이패널 제조 공정 부품의 표면 코팅에 있어 F 및 Cl기를 사용하는 플라스마 환경에서 우수한 화학적 안정성과 식각저항성을 나타내는 Zr-doped Y2O3 코팅층을 적용함에 따라 부품의 내구성 및 수명을 향상시킴과 동시에 고청정 챔버 환경을 제공할 수 있다.