[KR] 전기장을 이용한 가스센서, 이의 제조방법 및 이를 이용한 가스센싱방법(Structure of gas sensor using electric field, method for fabricating the same and gas sensing method using the same)
- 국가/구분 KR/특허
- 해외특허
- 출원번호/일자 10-2010-0052332 / 2010-06-03
- 등록번호/일자 10-1252232 / 2013-04-01
발명자
이영석 , 강석창 , 임지선 , 이세현
출원인
충남대학교산학협력단
초록
본 발명은 전기장을 이용한 가스센서, 이의 제조방법 및 이를 이용한 가스센싱방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 가스센서는, 전기장 인가용 제1전극판과; 상기 제1전극판의 상부면에 접합된 제1절연판과; 상기 제1절연판의 상부면에 배치되며, 센싱전극들이 패터닝되고 상기 센싱전극들 사이에 가스흡착용 물질이 로딩된 센싱기판과; 상기 제1절연판과는 일정간격 이격되어, 상기 제1절연판과 대향하도록 배치되는 제2절연판과; 상기 제2절연판의 상부면에 접합되는 전기장 인가용 제2전극판을 구비한다. 본 발명에 따르면, 상온에서 사용이 가능하며, 고민감성 및 고회복성을 가지는 가스센싱이 가능하다.