[KR] 나노입자 코팅장치, 그를 이용한 코어-쉘 나노입자의 제조방법 및 코팅두께 측정방법(Apparatus for Nano-particle Coating, Manufacturing Method of Core-Shell type Nano-particle and Measuring Method of Coating-Thickness Using the Same)
- 국가/구분 KR/특허
- 해외특허
- 출원번호/일자 10-2011-0059154 / 2011-06-17
- 등록번호/일자 10-1247968 / 2013-03-21
발명자
신원규 , 김진형
출원인
충남대학교산학협력단
초록
본 발명의 나노입자 코팅장치는 코어물질을 증발, 응집시켜 구상의 코어물질 입자를 발생시키는 코어입자 발생기; 상기 코어입자 발생기로부터 유입되는 코어물질 입자에 쉘물질을 코팅하는 입자코팅 반응기; 및 상기 입자코팅 반응기 내의 압력을 저압으로 유지하는 수단인 진공펌프;를 포함하는 나노입자 코팅장치에 있어서, 상기 코어입자 발생기와 입자코팅 반응기 사이에 압력분리 수단을 구비한 것을 특징으로 한다. 본 발명의 나노입자 코팅장치는 코어입자 제조기와 입자코팅 반응기의 사이에 압력 분리 수단을 구비하여, 양자의 압력을 분리함으로써 서로 다른 압력 범위에서 운용할 수 있으면서, 저압 입자코팅 공정에서 코어입자에 코팅되는 코팅두께의 실시간 제어가 가능하다.