[KR] 클린룸 미량가스 제거용 판상형 엠보싱 화학필터 및 이에 대한 제조 방법(Chemical filter for removing cleanroom small amount gas and method for manufacturing the same)
- 국가/구분 KR/특허
- 해외특허
- 출원번호/일자 10-2010-0081160 / 2010-08-23
- 등록번호/일자 10-1204456 / 2012-11-19
발명자
황택성 , 최용재 , 백영민
출원인
충남대학교산학협력단
초록
본 발명은 클린룸 미량가스 제거용 무절곡형 화학필터에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 엠보싱된 판상형 기재에 이온교환능력이 있는 비드를 점착하여 공기가 배출되는 방향으로 다수의 엠보싱부가 돌출 형성 되어있고, 이를 적층 조립하여 제조한 화학필터이다. 본 발명은 화학 필터 제조 시 절곡 공정이 필요 없어 제조과정이 간단하며, 압력손실이 낮으며, out-gas가 없고, 효율이 높은 판상형 엠보싱 화학필터를 제조함을 목적으로 한다. 본 발명에 따른 화학필터는 판상형으로써 절곡 필요없이 조립 가능하여 공정이 간단해진다. 또한 통기성이 뛰어나 공기의 압력손실이 없는 저압손 이온교환 화학필터이며, 엠보싱이 되어있어 이온교환능력이 우수한 고효율의 화학필터이다. 본 발명은 반도체, 바이오, 의약 분야의 클린룸에 적용 가능하다.