[KR] 강자성층/공간층/반강자성층의 3층 구조에 기반을 둔 고 자장 민감도 평면 홀 효과 센서(High field sensitivity planar hall effect sensor based on FM/spacer/AFM trilayer structure)
- 국가/구분 KR/특허
- 해외특허
- 출원번호/일자 10-2010-0054238 / 2010-06-09
- 등록번호/일자 10-1166690 / 2012-07-12
발명자
김철기 , 트랑쾅 흥 , 오선종 , 김동영 , 미가쿠 다카하시
출원인
충남대학교산학협력단
초록
본 발명의 일실시예에 따른 강자성층/공간층/반강자성층의 3층 구조에 기반을 둔 고 자장 민감도 평면 홀 효과 센서는, IrMn 및 NiO로 구성된 반강자성(AFM) 층, Cu, Ag, Au, Ru, 및 Ta으로 구성된 공간층(spacer), 및 NiFe 및 NiCo로 구성된 강자성(FM) 층으로 이루어는 것을 특징으로 한다.