[KR] 자기 센서(Magnetic sensor)
- 국가/구분 KR/특허
- 해외특허 미국
- 출원번호/일자 10-2010-0005657 / 2010-01-21
- 등록번호/일자 10-1093776 / 2011-12-07
발명자
김철기 , 김동영 , 정종률 , 트랑쾅 흥
출원인
충남대학교산학협력단
초록
본 발명은 자기장을 감지하는 자기센서에 관한 것으로, 상세하게, 본 발명에 따른 자기센서는 폐 루프(closed loop) 형상의 자성층; 서로 대향하여 상기 폐 루프와 접하며, 전류가 입/출력되는 한 쌍의 전류단자; 및 서로 대향하여 상기 폐 루프와 접하며, 출력전압을 검출하는 한 쌍의 전압단자를 포함하여 구성되고, 이방성자기저항(AMR; anisotropic magneto-resistance) 및 평면홀저항(PHR; planar hall resistance)이 모두 출력 전압에 기여하여, 강자성-반강자성층 박막 구조, 강자성-금속-강자성-반강자성 박막 구조에 의한 강자성층의 교환 결합력에 의한 출력전압의 이력특성을 제거하고, 상기 폐 루프의 내부 또는 외부에 폐 루프와 동일한 자성층을 폐 루프와 분리하여 위치함으로써 폐 루프의 형상이방성인자에 의한 이력특성을 최소화하고 자기센서의 출력전압을 안정화시키며, 민감도를 향상시키는 특징이 있다. 또한 원형의 대칭형 폐루프 형상을 통하여 신호의 선형성 및 대칭성을 강화함으로써 광대역의 직류 및 교류 자기장을 초고감도로 감지할 수 있는 특징이 있다.