[KR] 전기 전도성 제어를 위해 선택적 UV-O3 처리를 한 용액 공정 기반의 박막트랜지스터 및 그 제조방법(THIN FILM TRANSISTOR BASED ON SOLUTION PROCESS WITH SELECTIVE UV-O3 TREATMENT FOR ELECTRICAL CONDUCTIVITY CONTROL AND METHOD FOR ITS FABRICATION)
- 국가/구분 KR/특허
- 해외특허
- 출원번호/일자 10-2017-0153154 / 2017-11-16
- 등록번호/일자 - / 0000-00-00
발명자
이가원 , 김유정 , 정준교 , 박정현
출원인
충남대학교산학협력단
초록
본 발명의 한 실시예에 따른 전기 전도성 제어가 가능한 박막트랜지스터는, 베이스층 상에 위치하는 게이트 전극, 게이트 전극과 이격되어 있고, 적어도 일부가 게이트 전극과 중첩되는 금속 산화물층, 그리고 금속 산화물층 상에 위치하고, 일부가 금속 산화물층에 접촉되어 있는 소스 전극 및 드레인 전극을 포함하고, 금속 산화물층은 둘 이상의 금속 산화물 박막을 포함하고, 둘 이상의 금속 산화물 박막 중 하나 이상의 금속 산화물 박막이 UV-O3 처리되어 있다.