[KR] 고저항 세라믹 열용사 코팅 소재 및 이를 포함하는정전척의 제조방법(Electrostatic Chuck with High-Resistivity Ceramic Coating Materials)
- 국가/구분 KR/특허
- 해외특허 일본 PCT
- 출원번호/일자 10-2007-0015622 / 2007-02-14
- 등록번호/일자 10-0877381 / 2008-12-29
발명자
백경호
출원인
충남대학교산학협력단
초록
본 발명은 반도체/디스플레이패널 제조장비에서의 웨이퍼 또는 유리기판을 안정적으로 고정시킬 때 사용되는 정전척의 제조방법에 관한 것으로, 정전척의 핵심 부분을 열용사 코팅에 의하여 형성하되 흡착강도의 증대, 균일한 흡착력, 탈착시간의 단축 그리고 수명의 연장을 이루기 위하여 전기적 절연특성과 유전특성이 요구되는 부분을 내구성이 우수한 Al2O3-YAG계 코팅 소재를 적용하는 것을 특징으로 한다.