[KR] 롤투롤 인쇄 시스템에서 제판 가공 정밀도 측정 방법 및 장치(Method and apparatus for measurement precision master plate making process in roll to roll printing system)
- 국가/구분 KR/특허
- 해외특허
- 출원번호/일자 10-2016-0087981 / 2016-07-12
- 등록번호/일자 10-1968124 / 2019-04-05
발명자
김충환 , 전성웅 , 김 철
출원인
충남대학교산학협력단
초록
본 발명은 인쇄전자 분야에서 정밀 중첩 인쇄 시 필요한 각 층간의 레지스터 에러를 측정, 평가하고 제어하기 전에 레지스터 에러의 주요 원인이 될 수 있는 제판의 패턴 정밀도 측정에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 각 층 간의 중첩 정밀 제어를 위한 정밀 측정과 제어 기술이 확보될지라도 패턴이 각인된 제판에 가공, 조립, 진동 등에 의한 오차가 있을 경우 중첩 정밀도의 기본적인 한계를 측정하기 위한 롤투롤 인쇄 시스템에서 제판 가공 정밀도 측정 방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 제판을 이용하고, 제안된 레퍼런스 패턴을 사용함으로써 제판 가공시 발생한 축 편심, 런-아웃, 진직도 오차에 의해 발생하는 인쇄된 패턴의 주기적 오차와 아미지 인식 및 피인쇄체의 진동에 의해 발생하는 비주기적 오차를 인쇄전자장비의 일부인 비전시스템만을 이용해 측정할 수 있는 효과가 있다. 또한 제판의 패턴 각인오차를 측정함으로써, 고정밀도 고신뢰성을 요구하는 인쇄전자소자 생산 공정 시 발생하는 패턴의 주기적/비주기적 오차의 원인을 분석할 수 있는 데이터를 제공하며 제판 가공 시 발생하는 가공오차의 원인을 분석하여 가공 정밀도를 높이는 효과가 있다.