[KR] 그래핀 또는 그래핀-금속 복합체 박막의 패터닝 방법(Patterning Method for Graphene or Graphene-Metal Hybrid Films)
- 국가/구분 KR/특허
- 해외특허
- 출원번호/일자 10-2017-0037862 / 2017-03-24
- 등록번호/일자 10-1955671 / 2019-02-28
발명자
김의태 , 충트란남
출원인
충남대학교산학협력단
초록
본 발명은 고가의 장비를 사용하지 않고도 간단한 공정에 의해 온화한 조건에서 경제적으로 대면적의 기판 상에 그래핀 또는 그래핀-금속 복합체 박막을 패터닝할 수 있는 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 (A) 기판 상에 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계; (B) 포토레지스트 패턴 상에 포토레지스트 패턴과 그래핀층이 접촉되도록 그래핀/지지층 필름을 부착하는 단계; (C) 그래핀/지지층 필름이 부착된 기판을 열처리하여 기판 상에 그래핀/지지층 필름을 밀착시키는 단계; (D) 그래핀/지지층 필름이 밀착된 기판을 지지층과 포토레지스트의 용매에 침지하고 초음파 처리하는 단계; 및 (E) 기판을 세척하고 건조하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 상에 그래핀 박막 또는 그래핀-금속 복합체 박막을 패터닝하는 방법에 관한 것이다.