[KR] 연자성 니켈-철 퍼말로이의 제조 방법 및 그에 의해 제조된연자성 퍼말로이 박막(Preparation Method for Soft Magnetic Ni-Fe Permalloy Thin Film and Soft Magnetic Ni-Fe Permalloy Thin Film using thereof)
- 국가/구분 KR/특허
- 해외특허
- 출원번호/일자 10-2007-0032357 / 2007-04-02
- 등록번호/일자 10-0858507 / 2008-09-08
발명자
홍기민 , 방원배
출원인
충남대학교산학협력단
초록
본 발명은 우수한 연자성(soft magnetic property) 특성을 갖는 니켈-철 퍼말로이 박막의 제조 방법 및 그에 의한 연자성 퍼말로이 박막에 관한 것으로, 보다 상세하게는 전기도금에 의한 퍼말로이 박막의 제조에 있어서 박막의 표면 편평도의 향상에 의해 낮은 보자력 값과 낮은 포화자화 값는 자기 특성이 우수한 연자성 퍼말로이 박막을 제조하는 방법 및 그에 의해 제조되는 연자성 퍼말로이 박막에 관한 것이다. 본 발명에 의하면 진공증착방법에 비해 생산 단가가 낮고(1/100~1/10000) 공정이 간편한 전기도금 방법을 채택하고 있으면서도, 공정 변수에 따라 철과 니켈의 조성이 변화하지 않고 일정한 특성을 지닌 연자성 퍼말로이 박막을 얻을 수 있다.