[KR] 붕소-산화 티타늄 코어쉘 나노입자의 제조장치(APPARATUS FOR SYNTHESIS OF BORON AND TITANIUM OXIDE CORE-SHELL NANOPARTICLES)
- 국가/구분 KR/특허
- 해외특허
- 출원번호/일자 10-2017-0094541 / 2017-07-26
- 등록번호/일자 10-1920204 / 2018-11-14
발명자
신원규 , 신민상 , 성진영
출원인
충남대학교산학협력단
붕소-산화 티타늄 코어쉘 나노입자의 제조장치가 개시되어 있다. 본 발명은, 붕소입자를 생성하기 위한 붕소생성부; TTIP(titanium tetraisopropoxide) 증기를 생성하기 위한 TTIP 증기 생성부; 상기 붕소생성부로부터 생성된 붕소 나노입자와 상기 TTIP 증기 생성부로부터 생성된 TTIP 증기를 혼합시키기 위한 코어튜브; 상기 코어튜브로부터 이송된 혼합가스를 가열하여 TTIP를 분해시켜서 붕소에 증착시키기 위한 퍼니스; 생성된 붕소-산화 티타늄 코어쉘 나노입자를 포집하기 위해 상기 퍼니스의 후방에 설치되는 스크린 메쉬필터; 상기 퍼니스 내부의 유량을 조절하기 위해 상기 퍼니스의 후단에 설치되는 진공유량제어기; 및 상기 진공유량제어기 내부의 진공상태를 유지하기 위한 작동펌프;를 포함하는 것을 특징으로 한다.