[KR] 상온에서 강자성 특성을 갖는 초격자 박막구조의티타늄옥사이드계 묽은 자성 반도체 박막 및 그의 제조방법(Superlattice thin film structure titanium oxide system having the ferromagnetic characteristic in the room temperature the watery magnetic semiconductor thin film and a method of manufacture thereof)
- 국가/구분 KR/특허
- 해외특허
- 출원번호/일자 10-2006-0094695 / 2006-09-28
- 등록번호/일자 10-0851632 / 2008-08-05
발명자
윤순길 , 성낙진 , 이우성
출원인
충남대학교산학협력단
초록
본 발명은 상온에서 자성 반도체의 특성을 나타내는 초격자 박막구조의 TiO2계 묽은 자성 반도체 박막 및 그의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 Ti 격자 위치에 Fe와 Mn이 각각 치환된 Ti1-xFexO2-δ(0