[KR] 연성 폴리머 기판 위에 상온 화학증착법(Method for Room Temperature Chemical Vapor Deposition on Flexible Polymer Substrates)
- 국가/구분 KR/특허
- 해외특허 미국
- 출원번호/일자 10-2007-0014346 / 2007-02-12
- 등록번호/일자 10-0857590 / 2008-09-02
발명자
윤순길 , 성낙진 , 전상용
출원인
충남대학교산학협력단
초록
본 발명은, (A) 증발기에 의해 증기화된 소스증기를 반응챔버 내에 있는 샤워헤드에서 열분해 되도록 가열하여 나노크기의 단일상(single phase)으로 변환시키는 단계와 (B) 상기 나노크기의 단일상으로 된 소스증기를 반응챔버 내의 별도로 가열되지 않는 연성 폴리머 기판에 증착하는 단계를 포함하는 상온 연성 폴리머 기판위에 화학증착법에 관한 것이다.