[KR] 전하 선택 접합 실리콘 태양 전지 제조 방법(Silicon Solar Cell having Carrier Selective Contact)
- 국가/구분 KR/특허
- 해외특허
- 출원번호/일자 10-2017-0155061 / 2017-11-20
- 등록번호/일자 10-1886832 / 2018-08-02
발명자
장효식
출원인
충남대학교산학협력단
초록
본 발명은 제 1 도전형 불순물을 포함하는 제 1 도전형 실리콘 기판을 제공하는 제 1 도전형 실리콘 기판 제공 단계와 제 1 도전형 실리콘 기판의 상면에 제 2 도전형 불순물을 포함하는 제 2 도전형 실리콘층을 형성하는 제 2 도전형 실리콘층 형성 단계와 제 2 도전형 실리콘층의 상면을 화학적 산화 처리하여 화학적 산화층을 형성하는 화학적 산화층 형성 단계와 화학적 산화층의 상면에 전이 금속 산화물을 증착시켜 상부 전하 선택 박막을 형성하는 상부 전하 선택 박막 형성 단계와 제 1 도전형 실리콘 기판의 하면에 진성 비정질 실리콘 박막을 형성하는 진성 비정질 실리콘 박막 형성 단계와 진성 비정질 실리콘 박막의 하면에 제 1 도전형 실리콘 박막을 형성하는 제 1 도전형 실리콘 박막 형성 단계와 상부 전하 선택 박막의 상면에 상부 투명 전극을 형성하는 상부 투명 전극 형성 단계와 상부 투명 전극의 상부에 상부 금속 전극을 형성하는 상부 금속 전극 형성 단계 및 제 1 도전형 실리콘 기판의 하부에 하부 금속 전극을 형성하는 하부 금속 전극 형성 단계를 포함하는 전하 선택 접합 실리콘 태양 전지 제조 방법을 개시한다.