[KR] 이종 접합 실리콘 태양 전지의 제조 방법(METHOD FOR MANUFACTURING OF HETEROJUNCTION SILICON SOLAR CELL)
- 국가/구분 KR/특허
- 해외특허
- 출원번호/일자 10-2018-0086576 / 2018-07-25
- 등록번호/일자 10-1886818 / 2018-08-02
발명자
장효식
출원인
충남대학교산학협력단
초록
본 발명의 일 실시예는 태양 전지 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 해결하고자 하는 기술적 과제는 도전형 결정질 실리콘 기판과 진성 비정질 실리콘 박막의 사이에 터널링에 의해 전기 전도도가 우수하고 패시베이션 특성이 우수한 터널 산화막을 더 형성하여 효율 특성을 향상시킬 수 있는 이종 접합 실리콘 태양 전지 및 그 제조 방법을 제공하는데 있다. 이를 위해 본 발명은 제1도전형 결정질 실리콘 기판; 상기 제1도전형 결정질 실리콘 기판의 상면에 형성된 상부 터널 산화막; 상기 제1도전형 결정질 실리콘 기판의 하면에 형성된 하부 터널 산화막; 상기 상부 터널 산화막에 형성된 상부 진성 비정질 실리콘 박막; 상기 하부 터널 산화막에 형성된 하부 진성 비정질 실리콘 박막; 상기 상부 진성 비정질 실리콘 박막에 형성된 제2도전형 비정질 실리콘 박막; 상기 하부 진성 비정질 실리콘 박막에 형성된 제1도전형 비정질 실리콘 박막; 상기 제2도전형 비정질 실리콘 박막에 형성된 상부 투명 전극; 및 상기 제1도전형 비정질 실리콘 박막에 형성된 하부 투명 전극을 포함하는 이종 접합 실리콘 태양 전지를 개시한다.