[KR] 산화아연 나노와이어의 제조장치 및 제조방법(APPARATUS AND METHOD FOR SYNTHESIS OF ZnO NANOVIRES)
- 국가/구분 KR/특허
- 해외특허
- 출원번호/일자 10-2017-0066154 / 2017-05-29
- 등록번호/일자 10-1877319 / 2018-07-05
발명자
신원규 , 정규원
출원인
충남대학교산학협력단
초록
산화아연 나노와이어의 제조장치 및 방법이 개시되어 있다. 본 발명은, 실리콘 기판 상부에 탄소 촉매층을 형성하는 단계; 및 상기 탄소 촉매층에 산화아연 증기를 열화학 기상 증착방법을 통해서 증착시켜서 다수의 산화아연 나노와이어를 상기 실리콘 기판에 대해 수직방향으로 성장시키는 단계:를 포함하는 것을 특징으로 한다.