[KR] 탄소 기판을 이용한 태양 전지 제조 방법(Solar Cell Using Carbon Substrate and Method of fabricating The Same)
- 국가/구분 KR/특허
- 해외특허
- 출원번호/일자 10-2017-0103558 / 2017-08-16
- 등록번호/일자 10-1866384 / 2018-06-04
발명자
장효식
출원인
충남대학교산학협력단
초록
본 발명은 탄소 기판의 상면에서 하면으로 관통하는 복수 개의 비아홀을 형성하는 비아홀 형성 단계, 상기 탄소 기판의 상면과 상기 비아홀의 내주면에 배리어막을 형성하는 배리어막 형성 단계, 상기 배리어막의 상면에 제 1 도전형 실리콘층을 형성하는 제 1 도전형 실리콘층 형성 단계, 상기 제 1 도전형 실리콘층의 상면에 진성 실리콘층을 형성하는 진성 실리콘층 형성 단계, 상기 진성 실리콘층의 상면에 제 2 도전형 실리콘층을 형성하는 제 2 도전형 실리콘층 형성 단계, 상기 제 2 도전형 실리콘층의 상면에 반사 방지막을 형성하는 반사 방지막 형성 단계, 상기 탄소 기판의 하면에 코팅되어 형성되며 상기 비어홀을 상기 제 1 도전형 실리콘층과 직접 전기적으로 연결되는 후면 전극을 형성하는 후면 전극 형성 단계 및 상기 반사 방지막의 상면에 상기 제 2 도전형 실리콘층과 전기적으로 연결되는 전면 전극을 형성하는 전면 전극 형성 단계를 포함하는 탄소 기판을 이용한 태양 전지 제조 방법을 개시한다.