[KR] 탄소 기판을 이용한 태양 전지 제조 방법(Solar Cell Using Carbon Substrate and Method of fabricating The Same)
- 국가/구분 KR/특허
- 해외특허
- 출원번호/일자 10-2016-0096062 / 2016-07-28
- 등록번호/일자 10-1755030 / 2017-06-30
발명자
장효식
출원인
충남대학교산학협력단
초록
본 발명은 탄소 기판의 상면에서 하면으로 관통하는 복수 개의 제 1 비아홀을 형성하는 제 1 비아홀 형성 단계와, 탄소 기판의 상면과 제 1 비아홀의 내주면에 배리어막을 형성하는 배리어막 형성 단계와, 배리어막의 상면과 제 1 비아홀에 제 1 도전형 실리콘층을 형성하는 제 1 도전형 실리콘층 형성 단계와, 탄소 기판의 하면에서 상기 탄소 기판과 배리어막 및 제 1 도전형 실리콘층의 상면으로 관통하는 복수 개의 제 2 비아홀을 형성하는 제 2 비아홀 형성 단계와, 제 1 도전형 실리콘층의 상면과 제 2 비아홀에 제 2 도전형 실리콘층을 형성하는 제 2 도전형 실리콘층 형성 단계와, 상기 제 2 도전형 실리콘층의 상면에 반사 방지막을 형성하는 반사 방지막 형성 단계와, 상기 탄소 기판의 하면에서 상기 제 1 비아홀을 통하여 노출되는 제 1 도전형 실리콘층과 전기적으로 연결하는 제 1 전극을 형성하는 제 1 전극 형성 단계 및 상기 탄소 기판의 하면에서 상기 제 2 비아홀을 통하여 노출되는 제 2 도전형 실리콘층과 전기적으로 연결하는 제 2 전극을 형성하는 제 2 전극 형성 단계를 포함하는 탄소 기판을 이용한 태양 전지 제조 방법을 개시한다.