[KR] 초고주파 플라즈마 진단 장치(Microwave Plasma Diagnostic Apparatus)
- 국가/구분 KR/특허
- 해외특허
- 출원번호/일자 10-2015-0177126 / 2015-12-11
- 등록번호/일자 - / 0000-00-00
발명자
유신재 , 김정형 , 김대웅 , 성대진
출원인
충남대학교산학협력단
초록
본 발명은 초고주파 플라즈마 진단 장치를 제공한다. 이 초고주파 플라즈마 진단 장치는 전기적으로 접지되고 도전체로 형성된 안테나 몸체부; 도전체로 형성되고 외부로부터 가변 초고주파를 제공받아 상기 가변 초고주파를 플라즈마에 방사하고 상기 안테나 몸체부를 관통하여 배치되는 송신 안테나 코어; 절연체로 형성되고 상기 안테나 몸체부에 매설되고 상기 송신 안테나 코어를 감싸도록 배치되는 송신 안테나 절연 튜브; 절연체로 형성되고 상기 송신 안테나 코어와 동축 상에서 상기 안테나 몸체부의 일면에 링 형상으로 매설된 수신 안테나 절연 링; 도전체로 형성되고 상기 플라즈마를 통과하여 수신된 가변 초고주파 신호를 수신하고 상기 수신 안테나 절연링에 매설된 수신 안테나 도전 링;을 포함한다. 상기 송신 안테나 코어의 일단 및 상기 수신 안테나 도전 링의 일면은 외부로 노출된다.