[KR] 저압 플라즈마 발생 장치(Low Pressure Plasma Generation Apparatus)
- 국가/구분 KR/특허
- 해외특허
- 출원번호/일자 10-2015-0058230 / 2015-04-24
- 등록번호/일자 10-1659687 / 2016-09-19
발명자
유신재 , 김시준 , 이장재 , 이바다
출원인
충남대학교산학협력단
초록
본 발명은 저압 플라즈마 발생 장치를 제공한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 저압 플라즈마 발생 장치는 내부에 방전 공간을 구비하고 내부 표면이 절연체로 코팅되고 내측면에서 방위각 방향을 따라 구불 구불한 곡면을 가지고 도전체로 형성되고 전극 챔버; 상기 전극 챔버보다 높은 전위를 가지고 상기 전극 챔버의 중심부에 배치된 원기둥 형상의 중심 전극; 상기 전극 챔버와 정렬되어 배치되는 상부 절연 챔버; 상기 전극 챔버와 정렬되어 배치되는 하부 절연 챔버; 및 상기 전극 챔버에 RF 전력을 공급하는 RF 전원을 포함한다.