[KR] 탄소 기판을 이용한 태양 전지 제조 방법(Method for fabricating solar cell using carbon substrate)
- 국가/구분 KR/특허
- 해외특허
- 출원번호/일자 10-2014-0150224 / 2014-10-31
- 등록번호/일자 10-1643132 / 2016-07-21
발명자
장효식
출원인
충남대학교산학협력단
초록
본 발명은 탄소 재질로 형성되는 판상의 탄소 기판을 준비하는 탄소 기판 준비 단계와, 탄소 기판의 상면에 산화막 또는 질화막을 증착하여 배리어막을 형성하는 배리어막 형성 단계와, 배리어막의 상부에 전기 전도성 물질을 코팅하여 후면 전극을 형성하는 후면 전극 형성 단계와, 후면 전극의 상부에 제 1 도전형 실리콘층을 형성하는 제 1 도전형 실리콘층 형성 단계와, 제 1 도전형 실리콘층의 상부에 제 2 도전형 실리콘층을 형성하는 제 2 도전형 실리콘층 형성 단계와, 제 2 도전형 실리콘층의 상면에 전면 투명 전도막을 형성하는 전면 투명 전도막 형성 단계 및 투명 전도막의 상면에 상기 제 2 도전형 실리콘층과 전기적으로 연결되는 전면 전극을 형성하는 전면 전극 형성 단계를 포함하는 탄소 기판을 이용한 태양 전지 제조 방법을 개시한다.