[KR] 노광 장치 및 마스크 얼라이너(APPARATUS FOR LITHOGRAPHY AND MASK ALIGNER)
- 국가/구분 KR/특허
- 해외특허
- 출원번호/일자 10-2015-0010430 / 2015-01-22
- 등록번호/일자 10-1607578 / 2016-03-24
발명자
나정효 , 신성호 , 이상규
출원인
충남대학교산학협력단
초록
본 발명은 노광 장치 및 마스크 얼라이너에 관한 것으로, 노광 장치는 기판을 지지하기 위한 스테이지; 노광 패턴을 갖는 마스크를 지지하기 위한 마스크 지지부; 및 기판에 대해 노광 처리를 하기 위한 광을 발생하는 광원을 구비한 광원부를 포함하며, 광원부는 마스크 지지부 상에 직결된다.