[KR] 태양 전지 제조방법(Manufacturing Method of Solar Cell)
- 국가/구분 KR/특허
- 해외특허
- 출원번호/일자 10-2014-0096275 / 2014-07-29
- 등록번호/일자 10-1500942 / 2015-03-04
발명자
장효식 , 정명상
출원인
충남대학교산학협력단
초록
본 발명은 제 1 도전성 타입의 기판을 준비하는 기판 준비 단계와, 기판의 전면에 위치하는 제 2 도전성 타입의 에미터층을 형성하는 에미터층 형성 단계와, 에미터층의 상부에 SiO2막과 SiON 막으로 이루어지는 반사 방지막을 형성하는 반사 방지막 형성 단계와, 기판의 후면에 패시베이션막을 형성하는 패시베이션막 형성 단계와, 패시베이션막의 후면에 실리콘계 배리어막을 형성하는 배리어막 형성 단계와, 패시베이션막과 배리어막의 일부를 제거하여 기판 후면의 컨택 영역을 노출시키는 컨택 영역 형성 단계와, 에미터층과 전기적으로 연결되도록 구리 전해 도금에 의하여 반사 방지막의 상부에 구리 재질의 전면 전극을 형성하는 전면 전극 형성 단계 및 배리어막의 후면에 형성되며 상기 기판의 후면과 전기적으로 연결되는 후면 전극을 형성하는 후면 전극 형성 단계를 포함하는 태양 전지 제조방법에 관한 것이다.