[KR] 그래핀 전사 방법 및 이를 응용한 전자 소자(The graphene transfer method and the electric component applying this to a particular)
- 국가/구분 KR/특허
- 해외특허
- 출원번호/일자 10-2014-0051221 / 2014-04-29
- 등록번호/일자 10-1475460 / 2014-12-16
발명자
윤순길 , 박병주
출원인
충남대학교산학협력단
초록
본 발명은 그래핀의 전사 시 표면의 주름과 같은 기계적 변형을 최소화할 수 있는 그래핀의 전사 방법 및 이에 의해 그래핀이 전사된 기판을 포함하는 전자 소자에 관한 것으로, 보다 상세하게는 베이스 기판 상에 스퍼터링에 의해 Ti층을 증착한 후, 증착된 Ti층 상에 그래핀을 전사하는 것을 특징으로 하는 그래핀의 전사방법에 관한 것이다.