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[KR] 다공성 나노섬유를 이용한 가스센서 및 이의 제조방법(GAS SENSOR USING POROUS NANO-FIBER AND MANUFACTURING METHOD THEREOF)

  • 국가/구분 KR/특허
  • 해외특허
  • 출원번호/일자 10-2009-0124929 / 2009-12-15
  • 등록번호/일자 10-1156672 / 2012-06-08

발명자

이영석 , 강석창 , 임지선

출원인

충남대학교산학협력단

초록

다공성 나노섬유를 이용하여 가스센서를 제조하는 방법 및 이에 따라 제조된 가스센서가 개시된다. 본 발명에 따른 다공성 나노섬유를 이용한 가스센서의 제조방법은 (1) 폴리머 전구체와 용매를 혼합하는 단계; (2) 상기 '단계 (1)의 과정을 통하여 얻어진 혼합물을 전기방사하여 나노섬유를 제조하는 단계; (3) 상기 '단계 (2)'의 과정을 통하여 얻어진 나노섬유를 산화시키는 단계; (4) 상기 '단계 (3)'의 과정을 통하여 산화된 나노섬유를 탄화시키는 단계; (5) 상기 '단계 (4)'의 과정을 통하여 탄화된 나노섬유를 활성화시키는 단계; 및 (6) 상기 '단계 (5)'의 과정을 통하여 활성화된 나노섬유를 실리콘 웨이퍼 전극 사이에 증착시켜 가스센서를 제조하는 단계;를 포함하여 이루어진다. 본 발명에 의할 경우, 상온에서도 매우 높은 감도를 가지는 신뢰성 있는 가스센서를 제조할 수 있게 된다.

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