[KR] 구리도금 방법(COPPER PLATING PROCESS)
- 국가/구분 KR/특허
- 해외특허
- 출원번호/일자 10-2010-0113637 / 2010-11-16
- 등록번호/일자 10-1221376 / 2013-01-07
발명자
홍기민 , 류영호
출원인
충남대학교산학협력단
초록
본 발명은 구리전기도금방법에 관한 것으로, 평탄제로 가교 폴리아미드를 10 ~ 50 mL/L로 포함하는 구리 도금용액 조성물을 제조하는 단계; 상기 구리 도금용액 조성물을 사용하여 상온, 상압에서 열처리 없이 전기도금 하는 단계;를 포함한다. 본 발명에 따른 구리도금방법을 이용하는 경우, 100 nm이하의 미세한 선폭에도 빈 공간이 없이 도금이 가능하다.